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潔凈廠房、潔凈室、無塵室對濕度的要求以及如

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)需具備的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%RH的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%RH的范圍內(nèi)。

無塵室

近年來,由于對工藝要求的越來越高,人們對無塵車間的要求也越來越高。無塵車間是一個比較特殊的場所,又叫做潔凈廠房、潔凈室(Hlean Room)、無塵室。其中,跟我們除濕機(jī)行業(yè)密切相關(guān)的就是空氣的濕度了。因?yàn)榭諝獾臐穸葘o塵車間室內(nèi)有一些影響:

1、無塵車間里的一些物品在濕度大的環(huán)境里,往往會吸收水分,從而變形變質(zhì)。因此,繼續(xù)除濕機(jī)來確??諝饫锏臐穸缺3衷谝粋€合理的標(biāo)準(zhǔn)。


2、無塵車間里一定會有金屬物品,濕度過于大太潮濕,金屬會受潮,會被腐蝕!


3、前面兩點(diǎn)是空氣的濕度過于大會引起的問題,同樣的空氣的濕度過于小,就是空氣太干燥也是不行的。如果無塵車間里的空氣太干燥,是容易引起靜電的。


4、既然是車間,定有工人在操作??茖W(xué)研究表明了,我們?nèi)梭w在空氣濕度在40%—60%RH之間是比較舒適的??諝鉂穸冗^于高,人的皮膚可能會過敏濕疹,會無精打采,萎靡不振;空氣過于干燥,會誘發(fā)各種呼吸系統(tǒng)的疾病。


5、無塵車間并非無菌車間,在無塵車間里要保持好一個好的空氣濕度。經(jīng)過研究表明,細(xì)菌和其他生物污染在相對濕度過60%RH的環(huán)境中可以活躍地繁殖,一些菌群在相對濕度過30%RH時就可以增長,可見控制濕度的重要性。


隨著車間對空氣質(zhì)量指標(biāo)的高要求,無塵車間安裝管道除濕機(jī)或者是恒溫恒濕機(jī)等設(shè)備是勢在行的。其中除濕機(jī)的原理是用蒸發(fā)器在降溫的同時,又可以回收系統(tǒng)的熱量來彌補(bǔ)散失的熱量,既能源合理利用又節(jié)能,如今越來越多地應(yīng)用。


那么潔凈廠房、潔凈室、無塵室常見的除濕設(shè)備有哪些呢?

1、立柜式除濕機(jī)

  

無塵室立柜式除濕機(jī)

2、管道&吊頂式除濕機(jī)

無塵室管道&吊頂式除濕機(jī)

3、恒溫恒濕機(jī)

無塵室恒溫恒濕機(jī)


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